1) MOS-FETを用いた超高速スイッチングユニット
市販のパワーMOS-FET(6並列´8直列)で構成された超高速スイッチングユニットです。各素子の動作は光ファイバーを経由して共通の外部信号によって制御されます。 More information
(5 kV, 100 A, 240 ns, 2 MHz)
2) SIサイリスタを用いた超小型パルス高電圧電源
SIサイリスタを用いた独自の回路構成により、バッテリ(直流12V)の出力をパルス高電圧に変換するパルス高電圧発生電源です。超小型と超軽量を実現しました。 More Information
(12 kV, 100 ns, 2 kHz)
3) SOSを用いたエキシマレーザー用パルスパワー電源
急峻な電圧上昇を得るために半導体開放スイッチ(SOS)を用いたパルスパワー電源で、エキシマレーザーチャンバー内で均一な放電生成に重要な役割を果たします。 More information
(60 kV, 30 kA, 300 ns)
更新日:平成16年11月9日 |